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3N5/4N钽合金靶材生产厂家

产品分类: 合金靶材
产品简介:钽的熔点2996℃,密度16 68g cm3,导热系数(25℃):54(W M K),钽具有高导电性、高热稳定性和对外来原子的阻挡作用,故用贱射镀膜法在集成电路上镀上钽膜,可防止铜向基体硅中扩散。钽靶材主要用于半导体及光学领域。 我公司的钽靶材采用EB电子轰击制备的钽锭,通过轧制和退火工艺结合的方法生产而成。该方法生产的靶材具有良好的内部结构、均匀的结晶组织、织构以及能量分布。 目前产品远销到日本、韩国、台湾、美国等国家和地区。
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产品详情

   3N5/4N钽合金靶

 

钽的熔点2996℃,密度16 68g cm3,导热系数(25℃):54(W M K),钽具有高导电性、高热稳定性和对外来原子的阻挡作用,故用贱射镀膜法在集成电路上镀上钽膜,可防止铜向基体硅中扩散。钽靶材主要用于半导体及光学领域。 我公司的钽靶材采用EB电子轰击制备的钽锭,通过轧制和退火工艺结合的方法生产而成。该方法生产的靶材具有良好的内部结构、均匀的结晶组织、织构以及能量分布。 目前产品远销到日本、韩国、台湾、美国等国家和地区。

 

           
钽靶材纯度: 3N5、4N及4N5三种级别
      
其他指标可以根据客户要求组织生产

产品厚度: > 3.50mm

产品宽度: <  600mm

产品长度: < 1500mm

注:需方如有特殊要求,供需双方可协商确定。

 

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